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大族激光3-5μm光刻机已接订单国产半导体正困难翻身

时间: 2024-11-18 04:35:18 | 作者: 新闻中心

大族激光在互动渠道上表明，公司在研光刻机项目分辨率 3-5μm，首要聚集在分立器材、LED 等方面的使用，现在已接到少数订单。

此前，大族激光也在互动渠道表明，公司在研光刻机项目首要聚集在分立器材、LED 等范畴的使用，没有完成出售。

众所周知，高端芯片制作所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司独占，一台精细光刻机价格上百亿，而我国半导体职业起步较晚，光刻机技能与 ASML 的距离十分大。

详细地，我国光刻机最高技能也就上海微电子所出产的 90nm 光刻机。除此之外，现在合肥芯硕半导体公司也具有量产 200nm 光刻机的实力，无锡影幻半导体公司也具有 200nm 光刻机量产的实力。而 ASML 则在 7nm 等级。

简略来看，这些数字距离或许看起来不大，但事实上，90nm 跟 28nm 或者是 7nm 是千差万别的，光刻机每上一个台阶技能难度就会大幅度提高，或许从 90nm 升级到 65nm 并不难，可是从 65nm 升级到 45nm，便是一个技能节点了，至于 28nm、14nm 和 7nm，乃至未来有或许呈现的 3nm，那难度就更大了。

也正因为如此，我国的光刻机的研制进展一直都比较缓慢，而跟着大族激光在研光刻机项目的有序推动，也为我国光刻机的研制向前推动供给了一点点助力。

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